正在目前工艺时间较为先辈的半导体晶圆代工场的创制流程中，全盘工艺程序高出450道，个中大约要应用50种分歧品种的气体。
寻常把气体分为大宗气体(Bulk Gas)和特种气体(Special Gas)两种。由于各式气体的特色分歧PG电子官方网站，因此要打算出分歧的气体输送体系来知足各式分歧制程配置的需求。
非标配置是墟市上买不到的。思要所有知足项目需求的配置，都必需全新开采，有一个从无到有的革新流程，但要提防，革新不等于拍脑袋搞发觉创作，凑巧相反，特气支配体系打算施正在成熟布局的道理根基上，通过分歧的元件组合，来完毕项目所需求的效力。
非标配置先有需求再有产物，这是与规范配置的最大区别，规范配置是按照墟市需求先将配置创制出来，配置的效力机能依然是确定下来了。
非标配置是按照用户需求、特性化的定制。规范配置基础上不需求通过一再改正计划来获取订单的，可是像特气支配体系中基础都属于非标配置的，常常需求和用户一再众轮的疏导改正计划，最终抵达项主意哀求。
5. 操作面板上的指示灯、按钮开合等，要有真切的名称指示标牌，并要牢靠固定。标牌采用金属刻字标牌。
6. 配置自愿运转时，正在任何地点，按休歇键配置休歇后，都能用手动操作光复到初始状况，并无间自愿运转。
7. 配置急停后，必需举办复位，本领举办手动该操作，光复到原位后，使命配置才可能再次自愿运转。
8. 操作面板翻开时，应有防备操作面板翻开过位、零落的掩护装备；操作面板的电线引线要牢靠固定，并正在翻开流程中转移部位留有必定长度的余量。
10. 可转移式操作台必需零丁内置或外置软地线. 对尘埃、水气、油污斗劲大的境况，操作台箱体要有杰出的密封措施
5. 支配柜的各个元件应有很久性标牌，并应于图纸的名称相似。标牌地点不行贴正在元件上，应就近合理铺排
7. 接线端子板的应允端子地点，最众接3根电线. 接线. 导线接点要压接专用接线端子，不得直接和端子板和元件衔接
10. 备用线%以上，并标有备用线. 支配柜元件固定办法要合理，便于拆装；不允诺采用螺丝、螺母穿孔固定办法
12. 电气配线应有标号，并与图纸相似。标号哀求为打印办法，永恒应用不脱色，并能防水、防油。其余，统一电线两头的标号必需一致，接到统一端子上的电线. 支配柜的铁板厚度要担保强度,按照支配柜的巨细,厚度哀求分歧。但寻常铁板厚度要大于1.0---1.2mm。
14.转移、运转装备的急停、平安装备等互锁信号，哀求必需有继电器等硬件触点互锁，不行只要软件（PLC措施等）互锁。
20. 对蕴涵电子体系大功率发烧器件的电箱，应有空调或透风散热装备，并斟酌防尘手腕。
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