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PG电子官方网站捷佳伟创子公司自立研发临蓐的首批集成电道全自愿湿法摆设告捷交付客

  深圳市捷佳伟创300724)新能源设备股份有限公司举动太阳能电池装备的领先企业,为达成资产组织优化,提拔公司正在干系周围的自立立异材干和研发秤谌,适应产物开展途径向半导体装备周围延长,公司的全资子公司常州捷佳创慎密刻板有限公司于2019年创立了半导体湿法工艺商酌室PG电子官方网站,召集邦际团队重心强化对集成电途湿法装备实行研发。跟着邦度近年来对集成电途的接济力度持续强化、市集的强劲需求、产物研发的促进,常州捷佳创慎密刻板有限公司于2020年9月投资创立了创微微电子(常州)有限公司,特意从事集成电途湿法洗涤工艺装备的研发、临盆和出售,装备首要包蕴槽式及单晶圆湿法洗涤装备。

  截至目前,公司已获得紧急客户正在槽式湿法洗涤装备上的批量订单,并于2021年7月21日告捷交付3套集成电途全主动槽式湿法洗涤装备至客户实行大宗量临盆。同时正正在安排缔制中的装备还包蕴了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电途IDM厂的槽式洗涤装备及干系隶属装备,涵盖了集成电途200mm以下近70%湿法工艺举措,包蕴有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前洗涤及有机溶剂洗涤等,具有Cassette 与Cassette less 两品种型,遮盖晶圆尺寸从100mm~200mm。

  本次首批半导体洗涤装备的告捷交付,达成了公司正在政策途径上的再次超越,从光伏设备安排及缔制往泛半导体及半导体行业的拓展,也将成为邦度集成电途设备邦产化新的主力军。

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